干涉仪设计的意义

网上有关“干涉仪设计的意义”话题很是火热，小编也是针对干涉仪设计的意义寻找了一些与之相关的一些信息进行分析，如果能碰巧解决你现在面临的问题，希望能够帮助到您。

干涉仪设计的意义如下，迈克尔逊干涉仪的调整与使用实验是大学物理实验中比较经典的实验，也是理论和实验结合紧密的实验，这个实验当初是物理学家迈克尔逊在他设计的仪器上在相互垂直的方向上，通过测量干涉条纹的移动证明光速不变，为狭义相对论奠定了实验基础，在物理学发展史上占有十分重要的地位。开设这个实验有助于学生了解物理学是理论和实验结合的学科，体验仪器设计的精妙之处，锻炼精细调节的能力，加深对相关物理理论的理解，因为在大学物理理论课中有关于迈克尔逊实验的相关知识。通常实验会要求在观察干涉条纹的基础上测量光的波长。迈克尔逊干涉仪的原理在实际中应用比较广，轰动世界的引力波探测也是测量干涉条纹的移动。

白光干涉仪是一种精密测量仪器，能对物体表面的粗糙度/光洁度/洁净度、轮廓、微观三维形貌、PV值、台阶、高度、平面度、盲孔等进行高精度测量。

白光干涉仪AM系列的测量精度很高，精度可以达到亚纳米级别。以大量程、高精度的高速压电陶瓷单元驱动的白光干涉仪精度高达0.03nm，扫描速度高达400μm/s。它应用的行业很广泛，可应用于新能源、半导体、精密加工、精密光学、航空航天、3C产品、材料、液晶等领域。

白光干涉仪的原理是光干涉，两列频率相同、相位差恒定、振动方向一致的相干光源能产生光干涉。

当仪器扫过点A和点B时，点A和点B的干涉条纹高度峰值之间的差即为A、B两点的高度差。

白光干涉仪的光干涉原理分为两类：PSI相移干涉法和VSI垂直扫描干涉法。

1、PSI相移干涉法：

相移干涉法使用特定波长范围内的光源来确认目标面反射光和参考面反射光之间的光干涉。目标面的反射光和参考面的反射光之间的相位为?，距离参考面的高度为h，则?=4h/λ。借助相位测量法，可使用雅典扫描器等传动器移动测量面的光路，计算以1/4波长移动光路时获得的多个干涉条纹的相位差（?），然后将其转换为高度h。

2、VSI垂直扫描干涉法：

垂直扫描干涉法物镜以一定的间隔移动，以便确定每一阶的干涉条纹的亮度。当测量面的光路和参考面的光路长度相等时，干涉条纹的亮度达到最高。通过确定CCD光接收元件中每点最大干涉条纹亮度的Z轴高度可测出3D轮廓即高度差。

关于“干涉仪设计的意义”这个话题的介绍，今天小编就给大家分享完了，如果对你有所帮助请保持对本站的关注！

本文来自作者[wzjinhao]投稿，不代表金豪号立场，如若转载，请注明出处：https://wzjinhao.cn/jyan/202507-5246.html