紫外光电子能谱的紫外光电子能谱分析仪简介

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紫外光电子能谱仪包括以下几个主要部分：单色紫外光源(hν = 21.2 1eV)、电子能量分析器、真空系统、溅射离子枪源或电子源、样品室、信息放大、记录和数据处理系统（如图2）。紫外光电子能谱的激发源常用稀有气体的共振线如He I、He II。它的单色性好，分辨率高。可用于分析样品外壳层轨道结构、能带结构、空态分布和表面态，以及离子的振动结构、自旋分裂等方面的信息。

电子能量分析器其作用是探测样品发射出来的不同能量电子的相对强度。它必须在高真空条件下工作即压力要低于10-3 Pa，以便尽量减少电子与分析器中残余气体分子碰撞的几率。它可以分为磁场式分析器和静电式分析器，而静电式分析器又可以分为半球型电子能量分析器和筒镜式电子能量分析器（CMA)。

半球型电子能量分析器

半球型电子能量分析器（如图3）主要是通过改变两球面间的电位差，使不同能量的电子依次通过分析器，它的分辨率很高，可以较精确的测量电子的能量。

筒镜式电子能量分析器

筒镜式电子能量分析器（如图4），它是同轴圆筒，外筒接负电压、内筒接地，两筒之间形成静电场，以使不同能量的电子依次通过分析器，它的灵敏度很高，但是分辨率低。所以现在经常使用的是半球型电子能量分析器。光电子能谱要研究的是微观的内容，任何微小的东西都会对它产生很大影响，因此光源、样品室、电子能量分析器、检测器都必须在高真空条件下工作，且真空度应在10-3 Pa 以下。电子能谱仪的真空系统有两个基本功能，其一，使样品室和分析器保持一定的真空度，以便使样品发射出来的电子的平均自由程相对于谱仪的内部尺寸足够大，减少电子在运动过程中同残留气体分子发生碰撞而损失信号强度。其二，降低活性残余气体的分压。因在记录谱图所必需的时间内，残留气体会吸附到样品表面上，甚至有可能和样品发生化学反应，从而影响电子从样品表面上发射并产生外来干扰谱线。

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